产品特点:
高可用性:可通过连接 Windows PC 或 Android 设备,轻松进行设定点设置或状态检查等操作,使用便捷。
灵活输出:模拟输出形式可从预设的典型输出形式中选择,能更好地适配不同应用场景和设备需求。
宽范围测量:可测量压力范围为 5×10⁻² 至 1.0×10⁺⁵Pa,能够满足多种真空环境下的测量需求。
抗冲击性好:采用抗震设计的传感器头,可在一些存在震动的工作环境中稳定工作,减少因震动导致的测量误差或设备损坏。
耐腐蚀性强:细丝材料为 Pt(铂),具有优异的耐腐蚀性,可适应多种腐蚀性气体环境,延长设备使用寿命。
维护方便:易于更换传感器头,具备一键式大气压力调节和零点调节功能,可降低维护难度和维护成本。
技术参数:
可连接传感器头:1 个,适用的仪表传感器头包括 SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)等多种类型。
准确性:在 1×10⁻¹Pa 至 1×10⁺⁴Pa 范围内为 ±10%;在 5.0×10⁻²Pa 至 1×10⁻¹Pa 和 1×10⁺⁴Pa 至 1×10⁺⁵Pa 范围内为 ±20%。
重复性:在 1×10⁻¹Pa 至 1×10⁺⁴Pa 范围内为 ±2%。
采样时间:60 毫秒,采用 5 倍移动平均线处理,测量数据更稳定。
值输出:输出电压为直流 0 至 10V,压力指示(Log)为 1.7V 至 8.0V(1V / 十倍频程),分辨率为 3 毫伏,输出阻抗为 10Ω。
通信规格:具备 D-sub15 针接口,支持 USB Type-C(仅适用于 UL-MOBI 通信),串行通信可选择 RS232C/RS485(SW100-R),波特率为 9600/19200/38400bps,具有 EEPROM 备份记忆功能。
工作环境:工作温度范围为 10 至 40°C,工作湿度范围为 15 至 80%(非冷凝),储存温度为 - 20°C 至 65°C(非通电、非冷凝),最高烘烤温度为 150°C(仅传感器头,不含 SW100),IP 防护等级为 IP30。
电源:额定电压为直流 24V,电压变化范围为 DC 14V 至 30VMAX(-42/+25%),稳定时功率为 2.0 瓦,开机时为 4.8 瓦。
应用领域:
半导体行业:可用于 FPD / 半导体生产设备,如在线式或批量式生产设备中,精确测量真空腔体内的压力,确保半导体制造工艺的稳定性和产品质量。
家电与汽车制造:适用于制造家电或汽车的抽水小车等设备,对真空系统的压力进行监测和控制。
工业设备:可应用于真空炉等工业设备,为真空热处理等工艺提供准确的真空度测量,保障工艺效果。
分析设备:各类分析设备如质谱仪、光谱仪等,在真空环境下工作时,可利用该真空计精确测量真空度,确保分析结果的准确性。



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2025.8.19