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更新时间:2026-02-03
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型号
BAR-J200(美幸辉标准型,另有 BAR-J200B 等衍生款)
品牌
日本 MIYUKI 美幸辉
口径
200A(适配 DN200 法兰)
工作压力
10⁵Pa(常压)–10⁻⁵Pa(高真空)
泄漏率
内部密封≤1×10⁻⁹Pa・m³/s;外部密封≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s
材质
气体接触部件 SUS304;密封件氟橡胶 O 型圈
耐温
阀体≤150℃;电机≤40℃
驱动方式
电机直驱(无背隙)
控制特性
微小开度稳定,适配压力闭环控制
颗粒物
无金属滑动部件,低颗粒释放
供电
AC 200V–240V(视型号)
连接
法兰(JIS/ANSI)
断电动作
阀门停止(无自锁)

二、关键性能与适配
1. 核心优势
◦ 洁净低颗粒:无金属滑动结构,适配半导体 / 光伏等洁净环境,降低污染风险。
◦ 精准控制:微开状态压力稳定,电机直驱无背隙,适配 PID 闭环调节。
◦ 低噪长寿命:无金属摩擦,开关与调节噪声极低,维护周期长。
◦ 宽工况适配:覆盖常压至高真空,适配腔体 / 管路压力控制。
2. 系统适配
◦ 控制:支持 4–20mA/0–10V 信号,适配 PLC / 控制器实现压力闭环。
◦ 安装:法兰连接,适配真空腔体、气体管路与惰性气氛系统。
◦ 安全:断电阀门停止(无自锁),密封可靠,降低泄漏风险。

三、应用与采购要点
1. 典型场景
◦ 半导体 / 光伏:PECVD 腔体压力控制、真空管路调节、晶圆工艺气体流量稳定。
◦ 真空 / 惰性环境:手套箱 / 真空炉压力控制,低放气低颗粒适配严苛洁净要求。
◦ 工业气体:特种气体管路压力稳定,适配微电子 / 制药等低污染场景。
深圳电商代理及优势品牌
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主要合作客户
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2026.2.3
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