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更新时间：2026-02-04 
浏览次数：15| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 型号 | BAR-I160（I=ISO 法兰，160=160A 口径） |
| 品牌 | MIYUKI 美幸辉 |
| 口径 | 160A（DN160，ISO 标准法兰） |
| 工作压力 | 10⁻⁵ ~ 10⁵ Pa（真空至正压通用） |
| 泄漏量 | 内部≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s |
| 接触材质 | 气体接触部 SUS304；密封 / 轴封氟橡胶 O 型圈（可选全氟醚） |
| 耐热温度 | 阀体≤150℃；马达≤40℃ |
| 驱动方式 | 电机直连无背隙，停电时阀门停止（无固定力） |
| 控制信号 | 支持开度控制（MS-VP）、压力控制（MG-mini485）等 |
低颗粒低噪：无金属滑动部件，微小开度压力稳定，运行噪音极低，适配洁净制程。
高密封性：内外泄漏量极低，满足真空 / 微压、高洁净度系统要求。
精准控制：电机直连无背隙，全关闭状态下可实现流量微调，压力调节精度高。
结构可靠：SUS304 阀体 + 氟橡胶密封，耐温耐腐，适配半导体、光伏、真空炉等场景。
适配场景：半导体腔体排气、PECVD/CVD 工艺压力稳定、真空系统流导调节、化工反应釜流体控制。
维护建议：定期检查氟橡胶密封件老化，保持驱动部清洁干燥，避免超温 / 超压使用。
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2026.2.4
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